| 型号： | Dimension Icon |
|---|---|
| 功能： | 准确观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌；同时可以对样品表面的电场/磁场分布、表面电势等进行扫描。 |
| 工程师： | 沈老师 / 34207734-8010 |
| 设备地点： | 东区测试III区、西区测试I区 |
| 设备编号： | ETE3AFM01、WT1BAFM01 |
原子力显微镜的工作原理是基于原子间的相互作用力。通过一个非常尖锐的探针接近样品表面，探针与样品表面的原子之间会产生微弱的相互作用力，如范德华力。当探针在样品表面扫描时，通过检测这些力的变化来获取样品表面的形貌信息。系统以悬臂振幅作为反馈信号，扫描开始时，悬臂的振幅等于阈值，当探针扫描到样品形貌变化时，振幅发生改变， 探测信号偏离了阈值而产生了误差信号。系统通过 PID 控制器消除误差信号，引起扫描管的运动，从而记录下样品形貌。整个 AFM 系统如图所示。
提供智能扫描模式：要求采用以正弦波驱动压电陶瓷管做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像，且力曲线频率≥2000Hz。只需要选择扫描范围，系统就能够在扫描过程自动调节“接触力”，“电路增益”，“扫描速度”和“扫描管的量程范围”。
1. 样品尺寸小于8英寸，禁止样品表面黏性过大。
2. 样品上下表面平整、清洁，没有油渍灰尘等污染。
1. 样品尺寸小于8英寸，禁止样品表面黏性过大。
2. 样品上下表面平整、清洁，没有油渍灰尘等污染。
3. 样品背面干净，使用完后关闭软件。
4. 设备在运行过程中，请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障；如果发生设备报警，请通知相应的设备工程师。
扫描速度过快可能会导致图像失真和分辨率降低，因此需要根据样品的性质和测量要求选择合适的扫描速度。
