| 型号： | D8 Discover |
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| 功能： | 用于表征半导体4英寸晶圆级单晶薄膜的外延结构、膜厚、结晶度、晶向、界面弛豫等性能。 |
| 工程师： | 沈老师 / (021) 34207734-8010 |
| 设备地点： | 东区测试IV区 |
| 设备编号： | ETE4HRX01 |
XRD用于物相鉴定、晶体结构分析、残余应力测量、结晶度评估、织构表征及纳米材料研究，广泛应用于材料、化学、地质等领域。
XRD是一款多功能高精度X射线衍射分析系统，集成了微区分析、二维探测等先进功能。该系统配备高分辨率测角仪、微聚焦X光光学系统和高速二维探测器，可进行微区衍射、高分辨XRD、掠入射薄膜分析等。其独特优势在于能实现样品微观区域（如单个晶粒或缺陷）的晶体结构解析，为半导体、新能源、纳米材料和地质样品等研究提供全面的晶体学解决方案。
X射线衍射（XRD）的原理基于布拉格方程（nλ = 2d sinθ），当单色X射线入射到晶体材料时，其内部规则排列的原子面会作为衍射光栅，在特定角度（θ）发生相干衍射。通过检测衍射强度和角度分布，可获得材料的晶面间距（d）、晶体结构、物相组成及取向等信息。多晶样品的衍射图谱呈现一系列特征峰，通过比对标准数据库可实现物相鉴定；单晶分析则能解析原子位置。XRD的原子级结构敏感性使其成为材料表征的核心手段。
样品GaAs (004)晶面Omega-2theta scan
样品尺寸：小于4英寸的薄膜样品，测试需提供样品各层完整信息。 一般须有大于10mm*10mm的平整测试面。 高分辨测试须提供样品的待测晶面（晶面指数、2θ角等）。 XRR反射率样品：表面粗糙度一般小于5nm，测试需提供样品各层信息。
可能原因：X光管老化、光路准直偏移、样品未对准或探测器故障。 解决建议：检查X光管寿命（建议>20,000小时），重新校准光路（使用标准样品如Si或LaB6），确保样品居中，必要时联系工程师检测探测器性能。
