霍尔效应测试仪运行
Hall and Van der Pauw Measurement System
型号: K2500
功能: 测量半导体薄膜中载流子类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数。
工程师: 瞿老师 / 34207734-8003
设备地点: 西区测试I区
设备编号: WT1MHAL01
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

测量半导体材料与薄膜中的载流子类型、浓度、迁移率; 测量半导体材料与薄膜的电阻率、霍尔系数等参数;可实现300K~700K变温测量。

 

工艺/测试能力

可测量:可控温度下电阻率、载流子迁移率、载流子浓度、载流子类型、薄膜电阻等。

 

技术指标
  • 磁场强度:0.5T 电磁体
  • 可控温区域:300K~700K
  • 测试基片尺寸:不小于1 cm×1 cm,不大于2 cm×2 cm

当导电材料(半导体或金属)在外加磁场中流过电流时,载流子(电子或空穴)受到洛伦兹力作用,偏离原来的直线运动轨迹,形成垂直于电流和磁场方向的电势差,这种现象称为霍尔效应; 霍尔效应仪通过测量霍尔电压、已知电流和磁场强度来计算材料的物理参数。

钙钛矿载流子类型、浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等参数及变温电阻率:

 

样品制样为不小于1 cm×1 cm,不大于2 cm×2 cm;,最好能用银浆制备电极。四个电极的间距在0.6-0.8毫米,电极大小1个平方毫米左右。样品高度在1-3毫米最好。

禁止用力弯曲探针引线导致变形。

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常见问题及解答
  • 01
    在Linearity check或霍尔测试中出现Warning弹窗。

    异常原因:

    测试电流超出设备量程,或两两电极之间测试电流相差太大;

    处理方法:

    (1)点击“确定”按钮重新开始测试,查看弹窗是否继续出现;

    (2)停止测试,重新放置样品,并仔细检查四个探针是否同时接触样品表面;

    (3)如以上操作无法解决问题,请联系工艺负责人。

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