| 型号: | Lambda 750S |
|---|---|
| 功能: | 190nm~2500nm波长范围内薄膜样品吸光度(A)/反射率(R%)/透过率(T%)测试 |
| 工程师: | 瞿老师 / 34207734-8003 |
| 设备地点: | 东区测试III区 |
| 设备编号: | ETE3UVV01 |
精确测定不同波长下薄膜的反射率或透过率,评估薄膜的透光性、反光性、吸收特性,判断其是否符合光学器件(如滤光片、太阳能电池膜)的设计要求,亦可用于半导体、光学镀膜工艺的监控与成品检测。
用于测量薄膜的透射谱/反射谱,通过在紫外可见波段的吸收谱线可以反应薄膜的杂质、禁带宽度等信息,并且这种测量方式是无损的。
PerkinElmer Lambda 750紫外可见近红外分光光度计采用双光源、双光束、双单色器的光学设计,通过发射不同波长的光,测量物质对光的吸收、反射、透射等特性;样品与光相互作用后检测器测量光强度,并通过数据处理和算法分析输出分析结果,得到物质的光谱吸收曲线,仪器拥有测试光谱范围宽、分辨率高、灵敏度高、和准确度高的特点,可在光学、涂层、薄膜材料等领域广泛应用。
Si/Si₃N₄薄膜反射谱(狭缝宽度:2nm,积分时间:0.2s):

未烘干的胶、未处理的粉末等具有污染性的样品禁止测试,测试样品表面需保持清洁平整,样品尺寸需大于20mm*30mm,小于等于4英寸。
(1)装载或取下样品时请勿和样品室内棱镜区域发生触碰;
(2)测试过程中请勿打开腔室;
(3)保持白板的清洁,每次做完反射率测试需对光孔周围使用无尘布擦拭干净;
(4)做反射率测试时白板需反盖在黑色盖子中避免污染;
(5)如遇到内部棱镜有发霉或污染迹象请尽快通知工艺负责人;
(6)在关闭设备电源后,至少5分钟再开,这样可以让紫外灯冷却达到延长寿命的目的,或者只在工作结束时才再关机。
(7)使用过程中如遇软件报错,请及时截屏保存,并联系工艺负责人。
样品表面有污染未清洁污染了白板,做完反射率测试后未对光孔周围进行清洁。