| 型号： | developer |
|---|---|
| 功能： | 6英寸及以下基片喷射式显影 |
| 工程师： | 王老师 / (021) 34206126-6005 |
| 设备地点： | 西区光刻I区 |
| 设备编号： | WPHLEDC01 |
将曝光后的硅片放入显影机中，使用显影液处理以去除特定区域的光阻。
6英寸及以下基片喷射式显影
显影是将曝光后的硅片放入显影机中，使用显影液处理，以去除曝光或未曝光的光阻
支持 2”~6”标准晶圆，以及大于10mm x 10mm 的碎片
支持 2”~6”标准晶圆，以及大于10mm x 10mm 的碎片
请及时清理载片台和片子背面
