| 型号： | HP-200 |
|---|---|
| 功能： | 主要用于光刻工艺中的烘烤步骤，包括光刻胶预烘、后烘及其他热处理，确保均匀加热，提高图案质量和附着力。 |
| 工程师： | 张老师 / (021) 34206126-6029 |
| 设备地点： | 东区光刻ⅢA区 |
| 设备编号： | EDD2HPS01、EDD2HPS02 |
主要用于光刻工艺中的烘烤步骤，包括光刻胶预烘（soft bake）、后烘（post bake）及其他热处理，确保均匀加热，提高图案质量和附着力。
1、样品需提前与工艺老师确认。
2、样品正面与背面均需要保持平整洁净。
全天即可，样品需提前与工艺老师确认，样品正面与背面均需要保持平整洁净，使用完请保持机台干净整洁。
无需
