8″ 晶圆金相显微镜运行
8 inch wafer metallographic microscope
型号: MX63
功能: 基片表面光学观察
工程师: 王老师 / (021)34206126-6005 / fdwang@1
设备地点: 东区光刻ⅢA区
设备编号: ELT3WMM01
  • 设备基本信息
  • 设备工作原理
  • 典型使用案例
主要用途

基片表面光学观察

技术指标

反射光模式,物镜放大倍数包括:5X、10X、20X、50X、100X

光学显微镜的基本原理是通过两组透镜(物镜和目镜)的组合来实现对微小物体的放大和成像。物镜‌负责将物体放大并形成倒立的实像,而‌目镜‌则进一步放大这个实像,形成正立的虚像,最终供观察者使用。
100x物镜下,标尺物理长度为100um,软件实际测量为99.62um
样品尺寸兼容8英寸以下及破片,不接受带污染的样品
样品尺寸兼容8英寸以下及破片,不接受带污染的样品;样品背面干净,使用完请将亮度调到最低;设备在运行过程中,请勿触碰设备以及操作电脑以免误碰引起设备停机或故障;如果发生设备报警,请通知相应的设备工程师
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常见问题及解答
  • 01
    显微镜灯泡不亮

    1、检查光源模式、光阑、亮度是否正常;2、检查电源线是否有松动,插座是否正常。 3、如需更换备用灯泡,烦请联系设备工程师;

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