工艺能力/ capability：
图1.1 分辨率标准样品（0.24μm）
图1.2 X方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm
图1.3 Y方向分辨率测试结果，可区分亮暗条纹，分辨率可达0.12μm
2.宽度测试重复性测试：对于2μm宽度的条纹标准样品，宽度测量可重复性≤10nm，测试条件为：50X物镜，3AU，0.10μm步进，2014×512像素，重复测量10次，取灰度半高宽为条纹宽度。
图2.1 2μm宽度的条纹标准样品（一个亮暗周期为2μm）
图2.2 10次重复测量的统计结果
测试结果表明，条纹宽度的最大值为1.998μm，最小值为1.979μm。 3.用户样品测量结果（光刻胶以及PDMS图形结构）：
图3 用户样品测量结果（光刻胶以及PDMS图形结构）
设备类别/Facilities：测试设备; 设备编号/No.：WT2LSMZ01 设备地点/Location：西区测试II区。 工艺工程师/Engineer in response: 沈贇靓；邮箱：[email protected]；电话：021-34207734-8001 平台测试设备列表：https://aemd.sjtu.edu.cn/设备/设备分类/测试设备/
先进电子材料与器件校级平台
2020年10月21日
