关于AEMD平台Tousimis全自动临界点干燥仪设备开放通告

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2019-10-18

关于AEMD平台Tousimis全自动临界点干燥仪设备开放通告

尊敬的各位用户老师、同学：为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的Tousimis全自动临界点干燥仪设备（设备编号：WW1TCPD01）已完成安装调试，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。 Tousimis全自动临界点干燥仪设备介绍： 主要用途：

生物材料在电镜观察前的脱水；
高深宽比MEMS结构的干燥；
多孔材料，如溶胶凝胶的干燥；
其他精细结构的干燥。

设备工作原理简介： 在超临界状态下，气体和液体之间不再有界面存在，而是成为介于气体和液体之间的一种均匀的流体。这种流体逐渐从样品间隙中排出，由于不存在气-液界面，也就不存在毛细管力，因此不会引起样品间隙的收缩和结构的破坏，直至全部流体都从样品中排出，最后得到完美保形的样品结构。 工艺能力：

晶圆尺寸：6寸及以下（含不规则）
材料：SOI、SI、玻璃、铜片等其他半导体材料（具体咨询相关工艺工程师）

技术指标：

温度：-30°至60°C。干燥过程中，系统迅速从室温降到0℃。
压力：0-2000psi
功率：2500W-3000W

典型使用案例：

采用CO₂超临界干燥去除溶剂搁板，高分子薄膜保持在原来垂直方向上，提高了其光电性能.[ Argonne National Laboratory Seth B. Darling, PhD.]

溶胶-凝胶：临界点干燥 VS 风干[Tousimis Research Corporation Rockville, MD]

由低应力氮化硅制成的耦合振荡器SEM图，放大倍数：300X [Cornell Nanoscale Facility and Department of Applied Physics, Rob llic and H. G. Craighead (Craighead Group)]

倾斜微平台[University of Michigan at Ann Arbor, Department of Engineering, USA Yuan Xie, Ph.D.]

纤维原细胞附件的细胞骨架结构图[University of Pennsylvania, Philadelphia, PA Prof. Tatyanna Svitkina]

设备类别：湿法清洗与湿法刻蚀 工艺工程师：姓名：田苗；邮箱：[email protected]；电话：021-34207734-8027 设备信息详细介绍：https://aemd.sjtu.edu.cn/设备/设备分类/湿法清洗与湿法刻蚀设备/tousimis-全自动临界点干燥仪/

先进电子材料与器件校级平台

二零一九年十月十八日

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