薄膜厚度量测

椭圆偏振光谱仪测量多层膜厚度及折射率、消光系数(右)并与聚焦离子束截面(左)作对比分析:

 

紫外干涉膜厚仪测量SiO2/SOI结构样品中顶硅的厚度及分布:

 

台阶仪测量光刻胶轮廓:

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