器件与芯片电/光性能测量

半导体参数测量仪测量电学器件在不同频率下的电容-电压曲线:

 

霍尔效应仪测量半导体薄膜的掺杂类型、载流子浓度和电阻率等参数:

 

光电子测量系统测量硅基光栅耦合器耦合性能:

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