紫外可见分光光度计测量Si上氮化硅薄膜的反射率：
薄膜应力测量仪测量介质薄膜中的应力分布：
高分辨X射线衍射仪测量GaAs（004）晶面摇摆曲线：
四探针电阻测量仪测量薄膜方块电阻：
电化学CV测量仪测量Si片中离子注入的掺杂浓度分布：
晶圆表面缺陷检测仪测量Si片表面不同尺寸颗粒分布情况：
