尊敬的各位用户老师、同学：
为了满足校内外用户的科研需求，AEMD平台新购置的深紫外步进光刻机(设备编号：ELT2DUV01)已完成设备安装及工艺调试，并已开放运行；平台决定在该设备运行初期，实行优惠推广价格，即实行最新收费标准的三五折。欢迎广大用户师生前来咨询使用！
深紫外步进光刻机设备介绍：
主要用途：
0.18 um工艺节点光刻
设备工作原理简介：
DUV stepper采用248nm准分子激光作为光源，工艺节点在180nm水平，采用了步进扫描投影式光刻，光源通过掩模，经光学镜头调整和补偿后，以步进重复的方式在硅片上实现曝光，精度高且曝光速度极快。
工艺能力：
详情请咨询：
工艺工程师
姓名：徐老师；邮箱：[email protected]；电话：021- 34206126-6018
工艺集成工程师
姓名：权老师；邮箱：[email protected]；电话：021- 34207734-8018
请注意：预约系统当前显示的价格，即为该设备三五折优惠后的价格；优惠结束日期另行通知。
设备详细介绍查看链接： AEMD官网-平台设备-光刻图形化设备-深紫外步进光刻机
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先进电子材料与器件（AEMD）平台
2025年4月18日
