AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号：WF2OCVD01）设备已完成设备维修，恢复对外开放使用。
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号：WF2OCVD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验，预计维修周期：一周。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
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