为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新上线二、三期设备：SUSS MA8/BA8双面对准光刻机、SUSS 高性能涂胶机、SUSS 高性能显影机、VHF刻蚀系统、激光诱导深度刻蚀、高精度微喷墨打印系统，即日起开放运行，各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备（设备编号：WF1BALD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号：WF2OCVD01）设备维修，现暂停使用。相关已预约的实验全部取消，待设备恢复后需重新预约实验，预计维修周期：一周。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。
给您带来不便，敬请谅解！
