尊敬的各位用户老师、同学：

        为了满足学校广大师生的科研需求，AEMD平台新购置的高分辨 X 射线衍射仪系统（设备编号：ETE4HRX01）已完成安装调试，即日起开放运行。各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用，特此公告。

高分辨 X 射线衍射仪系统介绍：

主要用途：

XRD用于物相鉴定、晶体结构分析、残余应力测量、结晶度评估、织构表征及纳米材料研究，广泛应用于材料、化学、地质等领域。

工艺/测试能力：

高分辨X射线衍射仪（HR-XRD）系统是一种多功能分析设备，主要用于材料的精细结构表征和薄膜性能研究。

1. 通过高分辨XRD（摇摆曲线）可精确分析样品的物相组成、晶体结构及外延薄膜的结晶质量；

2. 倒易空间映射（RSM）技术能够研究异质外延薄膜与衬底之间的晶格适配度、弛豫程度以及界面失配位错，为薄膜生长优化提供重要依据；

3. X射线反射率（XRR）可用于非破坏性测量薄膜的厚度、密度、粗糙度，尤其适用于半导体器件、光学镀层等纳米薄膜的精确表征。综合而言，该系统广泛应用于新材料研发、微电子制造和先进薄膜的质量控制，为高性能材料的结构优化与性能评估提供了关键技术支持

设备工作原理简介：

‌ X射线衍射（XRD）的工作原理基于晶体材料中原子规则排列对X射线的衍射效应，通过布拉格方程（2dsinθ=nλ）解析衍射图谱，从而确定物质的晶体结构、物相组成和原子排列方式。

典型使用案例：

样品硅上1u的AlN（002）晶面的RC曲线

设备名称：高分辨 X 射线衍射仪系统

设备编号：ETE4HRX01

工艺工程师：沈老师；邮箱：[email protected] 电话：(021)34207734-8010

设备地点：东区测试IV区

设备详细介绍查看路径：AEMD官网-平台设备-表征与测试

AEMD官网网址：https://aemd.sjtu.edu.cn/

AEMD实验室设备预约管理系统访问网址：https://aemd-lims.sjtu.edu.cn/

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设备照片：

先进电子材料与器件（AEMD）平台

2025年9月28日