• 型号:Axio Scope A1

    状态:运行

    功能:基片表面光学观察

    东区光刻ⅢB区(021)34206126-6020
  • 型号:Zeta-20

    状态:运行

    功能:收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。

    西区薄膜II区(021)34206126-6013
×