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微纳加工
  • 单面对准接触式紫外光刻机预约

    型号：ABM/6/500/DUV/DCCD/M

    状态：运行

    功能：1. 基片：6英寸及以下硅片、玻璃等；
    2. 最小1um线宽微纳结构与器件图形光刻；
    3. 单面对准光刻。

    西区光刻I区(021) 34206126-6029
  • 双束聚集离子束系统(FIB)预约

    型号：Auriga

    状态：运行

    功能：在微纳米尺度下对样品进行图形化沉积、切割、刻蚀的二维及三维结构加工

    西区薄膜IA区(021) 34207734-8006
  • 激光直写光刻机预约

    型号：DWL66+

    状态：运行

    功能：600nm~微米级工艺能力光刻胶直写功能，套刻直写功能和三维灰阶光刻功能

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6005
  • 桌面式激光直写光刻机预约

    型号：uMLA

    状态：运行

    功能：光刻胶直写功能，在基片上直写微米尺度的光刻胶图形；套刻直写功能 ；SU8光刻胶直写功能

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6005
  • 双光子三维微纳打印系统预约

    型号：MPO100

    状态：运行

    功能：使用双光子聚合（TPP）技术使光刻胶结构化，可用于微结构的3D光刻和3D微打印，应用于光学、光子学、力学和生物医学工程。

    东区光刻ⅢA区(021) 34206126-6030
  • 激光诱导深度刻蚀预约

    型号：Vitrion M 5000 Gen2

    状态：运行

    功能：1.制造玻璃通孔
    2.制造玻璃腔体（通腔及盲腔）

    东区化合物半导体区(021) 34206126-6031
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