型号：RTP-761SA
功能：RTP-761SA
型号：RTP-600
功能：1.加热温度：RT~1100℃；升温速度：10℃/Sec；降温方式：水冷和气冷，平均30℃/Min； 2. 工作气体： PN2, Ar (适用于常规退火、金属硅化、合金化等）； 3. 基片：6英寸及以下样品
型号：RTP-CT150M
功能：1.加热温度：RT~1200℃；升温速度：10℃/Sec；降温方式：水冷和气冷，平均30℃/Min. 2. 工作气体： N2,Ar,O2,NH3 (控制级RTP，严禁金属入内） 3. 可抽真空退火 4. 基片：6寸及以下
型号：BF51842PC-1
功能：氮化保护高温退火（RT~1200℃）
