型号：定制
功能：该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的金属湿法刻蚀工艺， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过SC2槽以及DHF槽溶液进行金属湿法刻蚀清洗的各个工艺步骤。
型号：定制
功能：用于8寸以下类型的晶圆的金属湿法刻蚀工艺， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过AL刻蚀槽，Cr刻蚀槽以及SC1槽进行不同金刻薄膜的湿法刻蚀清洗。
型号：定制
功能：该设备通过使用各种无机类化学试剂，灵活实现各类小样品的无机类试剂清洗工艺，用户通过烧杯，培养皿等器具，灵活操作
型号：定制
功能：该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的硅湿法刻蚀工艺， 槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理， 可以通过KOH槽以及KI槽溶液进行硅湿法刻蚀以及金刻蚀清洗的各个工艺步骤。
型号：定制
功能：可以用于8~6寸以及4~3寸晶圆的介质刻蚀清洗， 槽体可以进行5片硅片清洗， 可以通过磷酸槽，SPM槽 以及DHF等溶液试剂进行介质湿法刻蚀清洗
