湿法清洗与刻蚀(含CMP) - 微纳加工 - 平台设备 - 上海交通大学先进电子材料与器件平台

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微纳加工

湿法清洗与刻蚀(含CMP)

CMOS级RCA清洗台预约

型号：定制

状态：运行

功能：该设备配置2套不同尺寸的槽体，可以用于8~6寸以及4~3寸两种类型的晶圆的无机RCA清洗，槽体最多可以进行5片硅片的工艺处理，可以通过SC1，SC2, SPM 以及DHF等溶液试剂进行RCA清洗的各个工艺步骤

东区无机湿法Ⅲ区(金属严控)(021) 34206126-6015
CMOS级多功能清洗台预约

型号：定制

状态：运行

功能：该设备可以用于小样品通过小型烧杯培养皿等器皿的自主灵活清洗，可以通过使用各种无机类化学试剂，灵活实现各类清洗工艺

东区无机湿法Ⅲ区(金属严控)(021) 34206126-6015
通用有机清洗台预约

型号：定制

状态：运行

功能：该设备可以用于小样品通过小型烧杯培养皿等器皿的自主灵活清洗，设备配备桌面型超声台，可以通过丙酮，异丙醇，PRS3000等试剂进行灵活的剥离，去胶等工艺

东区有机湿法II区(021) 34206126-6015
有机去胶剥离清洗台预约

型号：定制

状态：运行

功能：设备配置2套不同尺寸的槽体，通过丙酮，异丙醇，PRS3000等试剂进行剥离，去胶等工艺。

东区有机湿法II区(021) 34206126-6015
多功能操作台1（需要使用槽体水浴加热功能时预约）预约

型号：湿法定制操作台

状态：运行

功能：1. 设备配备一个不锈钢超声槽（300mm*300mm)，可以实现样品的水浴加热以及超声功能；
2. 对基片及表面材料无特别限制；
3.设备可以外接加热，超声等小型桌面设备，实现灵活工艺，
4：可做小片与破片工艺。

西区无机湿法II区(021) 34206126-6015
多功能操作台2（需要使用槽体水浴加热功能时预约）预约

型号：定制湿法通风橱

状态：运行

功能：1. 设备配备一个不锈钢超声槽（300mm*300mm)，可以实现样品的水浴加热以及超声功能； 2. 对基片及表面材料无特别限制； 3.设备可以外接加热，超声等小型桌面设备，实现灵活工艺，4：可做小片与破片工艺。

西区无机湿法I区(金属严控)(021) 34206126-6015

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