型号：Mini RCA
功能：设备配备SPM, SC1,SC2, HF，QDR等槽体， 包含一套大槽体（ 可以加工4英寸硅片）和一套小槽体（可以加工3英寸硅片）， 可以用于标准的RCA清洗工艺， 也可以单独使用其中一个槽体进行微纳加工清洗工艺。
型号：Automegasamdri-915B
功能：结构复杂样品和结构精细样品的无损干燥
型号：870S
功能：1. 可分别实现4寸以及6寸晶圆一盒（最多25片）的自动旋转甩干； 2. 通过去离子水先进行清洗，之后通过高纯氮气，高速旋转甩干样品
型号：FP53
功能：1. 氮气保护烘箱； 2. 工艺温度0~300℃可调。设备可以进行编程， 实现不同温度的升温速率控制，恒温时间控制等，实现程序化自动运行。
