CN
首页 > 平台设备 > 微纳加工 > 薄膜沉积
微纳加工
  • 电子束蒸发(E-Gun/E-beam Evaporator)预约

    型号：Explorer-14

    状态：运行

    功能：1. 蒸发沉积各类常规金属薄膜；
    2. 蒸发沉积镍等磁性薄膜；
    3. 可实现+/-45度的斜角蒸发。

    西区薄膜IA区(021) 34206126-6010
  • 双腔电子束蒸发镀膜系统预约

    型号：E550D

    状态：运行

    功能：常温条件下沉积高质量、厚度精确可控制的金属单质(尤其是难熔的Pt、Pd等贵金属)及化合物等多种薄膜。

    东区薄膜Ⅳ区(021) 34206126-6010
  • 电阻热蒸发镀膜系统预约

    型号：T550D

    状态：运行

    功能：满足常温条件下沉积高质量的金膜、银膜以及MgF2、WO3、ZnS等低熔点化合物薄膜。

    东区薄膜Ⅳ区(021) 34206126-6010
  • 电感耦合等离子体化学气相沉积设备预约

    型号：PlasmaPro 100 ICPCVD180

    状态：运行

    功能：样品尺寸不大于6英寸，低温沉积二氧化硅，氮化硅薄膜

    西区薄膜II区(021) 34206126-6010
  • 等离子增强化学气相沉积预约

    型号：ICP180

    状态：运行

    功能：低温（300℃）氧化硅、氮化硅、非晶硅、氮氧化硅、碳化硅等薄膜沉积

    西区薄膜II区(021) 34206126-6013
  • 电感耦合等离子体薄膜沉积预约

    型号：SI 500D

    状态：调试验收中

    功能：用于低温（130度）沉积SiO2、SiNx、TEOS等薄膜。也可以沉积掺杂PSG、BSG以及BPSG等薄膜材料。

    东区薄膜Ⅳ区(021) 34206126-6013
首页123末页
SERVICE AND INNOVATION FOR MICRO/NANOTECHNOLOGY

Tel：(021) 34207734

Email：[email protected]

邮编：200240

地址：上海市闵行区东川路800号微电子大楼

  • 微信公众号
©2016 上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台.Advanced Electronics Materials and Devices, Shanghai Jiao Tong University.沪交ICP备20151197
×